工况适配与价值落地：NeoDry系列干式真空泵多行业客户实践案例
案例一：半导体晶圆加工厂——低振低噪赋能精密镀膜工序
某半导体晶圆加工厂专注于8英寸、12英寸晶圆的镀膜、刻蚀等精密加工，其镀膜工序对真空环境的稳定性、洁净度及周边环境干扰控制要求高。此前，该厂镀膜车间采用传统油式真空泵，运行中不仅存在油蒸气污染风险，影响晶圆镀膜均匀性，且设备振动与噪声较大，对周边精密仪器运行造成干扰，同时维护频次较高，频繁停机影响生产连续性。
为解决上述问题，该厂结合镀膜工序工况需求，对多款干式真空泵进行测试对比，*终选定NeoDry系列G+分支的36G+型号。选型核心考量围绕三大需求：一是无油洁净设计，避免油蒸气污染晶圆表面，保障镀膜质量；二是低振动、低噪声特性，减少对精密工序及周边设备的干扰；三是长维护周期，适配车间24小时连续生产的节奏。
36G+在该车间镀膜工序的应用，首先解决了污染痛点。其无油式结构无需油类润滑介质，从源头杜绝油蒸气进入真空系统，配合前置过滤装置，有效避免杂质附着在晶圆表面。经过三个月试运行，镀膜工序的**率较此前下降，晶圆表面涂层均匀性显著提升，后续清洗工序的工作量也相应减少。
在运行稳定性方面，36G+展现出适配优势。该型号优化了转子间隙控制，进气口全闭运行时噪音控制在49dB(A)以下，振动值≤7μm p-p，接近正常交谈音量，运行时不会对周边精密检测仪器造成干扰。车间技术人员反馈，设备运行期间，镀膜工艺参数波动幅度缩小，无需频繁调整工艺参数即可维持稳定生产，操作难度降低。
能耗与维护成本的优化也成为明显成效。36G+采用优化后的变频电机，结合智能负载调节算法，可根据镀膜工序的真空度需求自动调整转速，极限压力工况下功耗降至0.5kW，相比传统油式真空泵及旧款干式真空泵，能耗降低9%以上。同时，转子表面升级的耐磨耐腐蚀涂层延长了部件使用寿命，维护间隔延长至18000小时，较此前设备维护频次减少，每年可减少因停机维护造成的生产损失，综合运营成本显著下降。
目前，该晶圆加工厂已在3条镀膜生产线完成36G+的替换升级，设备平均连续运行时长超过8000小时，未出现重大故障。车间负责人表示，设备的稳定表现不仅保障了精密工艺的顺利开展，也为后续生产线的升级改造提供了参考方向。
案例二：精细化工企业——高效处理溶剂回收工况的环保转型
某精细化工企业主要从事医药中间体、染料原料的生产，溶剂回收工序是生产环节的核心组成部分，需对反应过程中产生的乙醇、丙酮等挥发性溶剂进行回收再利用，既降低物料损耗，又减少环保压力。此前，该企业采用传统水环真空泵处理溶剂回收工况，存在三大突出问题：一是需持续消耗大量循环水，水资源浪费严重，且产生的废水需额外处理，环保成本较高；二是水蒸气处理能力不足，水汽在泵内凝结导致部件损耗加快，维护频繁；三是能耗偏高，长期连续运行下能源支出压力较大。
结合双碳目标及企业环保转型需求，该企业启动真空设备升级计划，针对溶剂回收工序的高水分、轻度腐蚀性介质特性，选定NeoDry系列G+分支的60G+型号，并搭配定制化前置过滤器与耐腐蚀配件。60G+的选型适配逻辑的是贴合化工工况的核心需求：一是空冷式设计无需循环水，从源头减少水资源消耗与废水产生；二是升级的氮气气镇机构提升水蒸气处理能力，适配高水分工况；三是优化的能耗控制与耐腐蚀设计，兼顾运行成本与设备寿命。
设备投入使用后，首先实现环保效益的提升。60G+采用空冷系统替代传统水环泵的水循环冷却，无需额外配置冷却水管道与循环设备，每年可减少水资源消耗近万吨，同时彻杜绝因水循环产生的废水，降低企业环保处理成本。此外，无油设计避免了油类与溶剂混合造成的二次污染，溶剂回收率较此前提升，物料损耗减少，既节约成本又降低挥发性有机物排放。
在工况适配性方面，60G+的气体处理能力满足溶剂回收需求。其启用气镇机构后水蒸气处理量提升至650g/h，能快速排出蒸馏过程中产生的大量水汽，避免凝结物附着在泵体内部导致部件损耗，同时减少因介质处理不及时造成的停机。针对溶剂中含有的轻度腐蚀性成分，转子表面的耐磨耐腐蚀涂层发挥作用，有效抵御介质侵蚀，设备运行稳定性提升，部件更换频次减少。
能耗优化成效同样显著。60G+通过变频电机与智能负载调节，根据溶剂回收工序的真空度波动自动调整运行转速，较传统水环真空泵能耗降低15%以上，按每年连续运行8000小时计算，可减少可观的电费支出。同时，设备维护间隔延长，维护流程简化，无需专业人员即可完成基础检查与滤芯更换，进一步降低了运维成本。
经过近一年的运行，该企业溶剂回收工序的综合成本较此前下降，环保达标率提升，60G+的稳定表现为其后续其他生产环节的设备升级提供了依据，目前已计划新增2台60G+用于扩建生产线。
案例三：生物医药实验室——紧凑型设计适配狭小空间实验需求
某高校生物医药实验室专注于抗肿瘤**、生物制剂的研发，实验过程中涉及样品真空干燥、低温冻干、质谱分析等多个需真空环境的环节。实验室空间有限，实验台布局紧凑，且对设备噪声、运行稳定性及操作便捷性有较高要求。此前，实验室使用的小型真空泵存在体积偏大、噪声较高、维护繁琐等问题，难以适配短时、高频次的实验需求，且偶尔出现真空度不稳定的情况，影响实验数据准确性。
为优化实验条件，提升研发效率，实验室结合自身场景特点，筛选了多款小型干式真空泵，*终选定NeoDry系列E-Mini分支的7E-Mini与15E-Mini两款型号，分别用于基础样品处理与高精度实验配套。选型核心聚焦空间适配、噪声控制、操作便捷性三大维度，同时兼顾实验所需的真空性能。
E-Mini系列的紧凑型设计适配实验室空间限制。7E-Mini外形尺寸仅为280mm×220mm×200mm，重量仅8kg，较传统小型真空泵体积减小20%、重量减轻15%，可直接放置在实验台角落或嵌入实验装置内部，不占用过多空间，有效优化了实验台布局。15E-Mini则搭配小型实验冻干机使用，紧凑的机身设计便于与冻干设备集成，实现一体化运行。
低噪声特性显著改善了实验室环境。7E-Mini运行噪声控制在56dB(A)以内，15E-Mini噪声值略高但不超过60dB(A)，均不会对实验人员交流及周边精密仪器运行造成干扰，解决了此前设备噪声过大影响实验开展的问题。实验人员反馈，设备运行时几乎无明显异响，即使在密闭实验室长时间运行，也不会产生不适。
操作便捷性与运行稳定性满足研发需求。E-Mini系列简化了拆卸流程，进气过滤器采用快拆设计，实验人员无需专业工具即可完成清洁与更换，适配高频次实验后的快速维护需求。机身配备的运行状态指示灯能实时反馈设备工作情况，便于及时发现异常。在真空性能方面，7E-Mini抽气速率维持110L/min，极限压力5.0Pa，可满足常规样品干燥、基础真空实验等需求；15E-Mini抽气速率250L/min，极限压力1.0Pa，搭配冻干机使用时，能快速构建稳定真空环境，保障实验数据的一致性。
此外，E-Mini系列的空冷系统无需额外配置冷却设备，在实验室无专用冷却水接口的情况下也能正常运行，进一步提升了设备的场景适配能力。目前，两款型号已在实验室稳定运行近一年，适配样品处理、冻干实验、质谱分析等多个环节，未出现因设备故障影响实验进度的情况，成为研发工作的可靠配套设备。
案例共性启示：适配需**核心价值导向
上述三个不同行业的客户案例，展现了NeoDry系列干式真空泵在不同工况下的适配能力，其核心价值并非依赖参数叠加，而是通过精准匹配行业需求，解决实际生产与研发中的痛点。从半导体行业的精密性需求，到化工行业的环保与高效需求，再到实验室场景的空间与便捷性需求，NeoDry系列均通过针对性的结构设计、性能优化，实现与工况的深度适配。
从客户反馈来看，无油洁净、能耗可控、维护便捷是三大核心优势。无油设计避免了污染风险，适配对洁净度有要求的场景；能耗优化与空冷设计契合绿色生产趋势，帮助企业降低长期运营成本；长维护周期与简化的维护流程，减少了停机损失，提升了生产与研发的连续性。这些特性既贴合当前工业领域的发展趋势，也为不同规模、不同行业的客户提供了灵活的真空解决方案。
值得注意的是，NeoDry系列的适配能力并非单一型号的全表现，而是通过E、G、G+、E-Mini等多分支、多型号的产品矩阵，覆盖不同细分场景需求。同时，部件通用性与定制化配件选择，进一步提升了设备的适配灵活性，减少客户更换设备后的衔接成本。未来，随着各行业对真空设备的需求持续升级，贴合工况痛点、兼顾价值与实用性的设备，将更易获得市场认可。