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半导体车间酸液输送，这套“车+泵”组合让危险与污染清零
日期：2026-03-18 16:19
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摘要：在半导体湿法刻蚀与清洗工艺的核心环节， 高纯度、强腐蚀性化学药液 的**、无污染输送，直接关系到晶圆的洁净度与*终产品良率。如何从存储桶中**、高效、无泄漏地将这些昂贵且危险的液体转移至工艺槽，是每个产线都必须解决的精细作业难题。纳加霍里科技联合大阪大友 ，为您提供从“储运”到“投加”的完整、专业的化学品处理解决方案。其中，日本工进（KOSHIN）FC-103化学溶剂桶泵正是该流程中实现液体精准、**输送的关键执行单元。
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全密封结构 ：有效防止有害液体泄漏和蒸汽挥发，保护操作人员与洁净室环境。
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手持阀控制 ：操作者可在输送端**位置一键控制流量，实现人机分离，提升操作**性。
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适配电源 ：标准日本100V电源（国内使用需配备专用100V隔离变压器），即插即用，安装简便。
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材料**，保障药液纯度 ：专用PP材质针对化学品优化，离子析出率低，避免引入金属污染，更适用于对洁净度有要求的半导体辅助工序（如设备外围药液补充）。
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杜绝污染，保护工艺 ：全密闭输送模式，隔绝了空气中颗粒和水分对高纯化学品的污染风险，也防止了化学品蒸汽对洁净室环境的破坏。
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操作**，降低风险 ：相比人工倾倒或简陋工具， 工进（KOSHIN） FC-103电动鼓式泵实现了远程控制输送，大幅减少了操作人员直接接触危险化学品的机会，符合工厂**规范。
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提升效率，精准可控 ：快速输送结合精准的手动流量控制，使药液添加量更准确，减少了浪费和工艺参数的波动。
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步骤 |
关键行动 |
说明与目的 |
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**步：确认兼容性 |
务必查询官方《FC泵耐化学性表（PDF）》 |
确认您计划输送的具体化学品名称、浓度、温度与PP材质的兼容性。并非所有化学品都适用。 |
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**步：评估环境 |
判断液体与环境的易燃易爆性 |
严禁使用FC-103电动型泵输送任何易燃、易爆液体！ 如有此类需求，必须选用气动防爆型号 FC-103A。 |
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第三步：电源准备 |
配备100V隔离变压器 |
FC-103为日本标准100V电源，在中国大陆使用必须通过专业隔离变压器供电，确保电压匹配与用电**。 |
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将搬运车运送来的 酸、碱、溶剂 从200L桶中抽出，输送至湿法清洗、刻蚀等设备的补液口或调配槽。
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实验室或研发中心 高纯化学试剂 的**分装与转移。
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化工厂、电镀线 药液的补充、更换与循环 。
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方案集成专家 ：我们能为您规划从 大阪大友化学品搬运车 到 工进化学泵 的完整物料搬运与投加方案，确保流程无缝衔接。
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专业合规指导 ：提供官方技术资料，指导您完成严谨的化学品兼容性确认与防爆评估，确保选型与使用100%**合规。
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**与保障 ：提供原装**，并配套相应的电源适配解决方案及专业技术支持。