电抛光机身,增强耐腐蚀性。
阀体和气门弹簧为不锈钢(SUS304)。主体经过电解抛光,增强耐腐蚀性。
密封材料可根据您的流体和应用进行选择,灵活地满足您的半导体生产工艺要求。
所有部件都经过清洁、组装、检查,然后在洁净室中包装。
无油脂。密封材料上不涂抹润滑脂。
每个插头都配有防尘盖。
不锈钢SUS316阀体和阀弹簧可作为定制产品提供。
1.核心性能与参数:采用双路开关阀门结构,分离时自动闭合,泄漏量≤0.015mL,能避免高纯度流体浪费与污染;工作压力达 2bar,适配半导体生产的低压流体传输需求。安装螺纹可选 Rc1/8 等规格,还支持 UNS 等定制螺纹,搭配 SP 型 1S 插座使用,可满足不同管路安装需求,且流体传输压力损失小,保障传输效率。
2.材质与工艺:主体与阀门弹簧均采用 SUS304 不锈钢,该材质抗拉强度≥515MPa,兼具良好强度与韧性,不易破裂变形。主体经电解研磨处理,大幅提升耐腐蚀性,可抵御高纯度化学品侵蚀;密封材质选用 PERFLO,适配各类半导体生产常用化学流体。同时采用实心棒料加工工艺,保障接头结构精度与稳定性。
3.应用场景与适配性:核心适配半导体生产设备的高纯度化学品传输管路,比如晶圆清洗、光刻胶涂覆等工序的流体输送。此外还可用于化工高纯度试剂传输、电子元器件制造中的精密流体管路等场景。能匹配空气及多种高纯度化学流体,且可与同系列 SP 型插座无缝对接,适配不同半导体生产线的管路布局需求。
4.技术优势与差异化:相比普通接头,其电解研磨工艺让耐腐蚀性远超未经处理的不锈钢接头,适配半导体行业严苛的防污染需求。自带防尘盖,搭配 PERFLO 专用密封材质,形成双重防护,避免杂质进入污染流体。且采用免工具插拔设计,相比传统螺纹接头,大幅提升频繁拆装场景的作业效率,同时内置防脱结构,振动环境下也能保持连接稳固,防止意外脱离。
5.品质与售后保障:产品经无尘室组装检测,符合半导体行业洁净标准,出厂前经过严格的密封性能与耐腐蚀性测试。售后方面可享受原厂原装配件供应保障,专业团队提供远程技术指导,解决安装与故障问题。
6.实际价值与案例:实际应用中可减少高纯度化学品泄漏损耗,降低半导体生产的物料成本与环境污染风险,免工具操作也减少生产线停机时间,提升整体产能。例如某大型半导体晶圆制造厂将其用于光刻工序的显影液传输管路,通过其高密封性避免显影液污染,保障晶圆加工良率,同时频繁拆装作业效率较传统接头提升 40% 以上,大幅降低了设备维护成本。
型号尺寸表
插头

套件

配件

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