PF-F系列 化学溶液/溶剂专用脱气模块

一、产品核心特性

本系列脱气模块核心脱气膜采用PTFE聚四氟乙烯材质，全部接液部件均为氟树脂打造，耐腐蚀性优异，可适配酸、碱、各类有机溶剂等特殊液体的脱气、消泡作业，适配工业严苛工况。

二、脱气原理

依托PTFE管状透气膜实现脱气：通过在膜管外部构建真空环境，利用管内外气体分压差，将液体中溶解的气体高效分离去除，脱气消泡效果稳定。

三、主要应用场景

半导体、LCD制造：各类抗蚀剂、稀释剂、化学工艺溶液的脱气、消泡

喷墨行业：溶剂型喷墨液体精准脱气

备注：产品脱气率、压力损失数据为纯水测试参考值，实际参数随使用液体品类不同存在差异。

四、产品规格参数

1. 普通型

PF系列脱气模块分为标准型与低压损型两大类，通用耐压为0.294 MPa（PF-3T-SF为0.2 MPa），*高使用温度均为40℃。

标准型涵盖PF-3T-SF、PF-03F、PF-05F、PF-10F、PF-13F、PF-28F共6个型号，适配流量从1～20 mL/min（PF-3T-SF）到1～500 mL/min（PF-28F）不等。其中PF-3T-SF体积小（29×58×86mm），采用4×2管出接口；其余型号均为Φ102筒身，高度随流量增大从180mm增至440mm，液体侧接口为1/4超柱（PF-28F为3/8超级柱），真空侧均为遥控1/8接口。

低压损型包含PF-13F(T)和PF-26F(T)两个型号，适配流量均为1～500 mL/min。PF-13F(T)外形为Φ102×260mm，接口配置与标准型一致；PF-26F(T)外形更大（Φ140×450mm），液体侧采用10mm超级柱，真空侧升级为遥控1/4接口，以满足低压损工况需求。

五、产品备注

接口规格：产品接头含支柱、法兰等类型，以实际货品为准；

流量范围：为参考适配区间，可根据液体介质、脱气精度需求调整使用；

外形尺寸：不含凸起、接缝结构，精准尺寸可查阅产品图纸。