半导体LCD制程药液脱气，DIC迪爱生PF‑F全氟树脂脱气模块适配酸碱有机溶剂

在半导体、LCD 面板制造及工业喷墨生产过程中，药液、溶剂内部溶解气体与微气泡，极易造成涂布针孔、喷头堵塞、成品瑕疵等工艺问题，普通脱气模组受材质限制，难以耐受强酸、强碱、各类有机溶剂工况，选型困扰众多设备工程师与生产企业。DIC 迪爱生 SEPAREL PF‑F 系列化学溶液、溶剂专用脱气模块，依托 PTFE 聚四氟乙烯中空纤维膜，为腐蚀性流体提供稳定可靠的在线脱气消泡解决方案。

PF‑F 系列脱气模块脱气膜采用 PTFE 材质，全部接液部件均为氟树脂制造，具备优异耐化学腐蚀性能，可直接对酸、碱、有机溶剂等腐蚀性液体开展脱气作业。产品脱气采用分压差真空脱气机理：液体在 PTFE 管状透气膜内部流动，膜管外部构建真空环境，依靠膜管内外气体分压差，将溶解于液体中的气体持续析出抽出，实现连续在线脱气处理。产品提供脱气率、压力损失性能曲线，测试基准为 25℃纯水，实际工况下，脱气率、压力损失会随处理介质不同产生变化，选型时需结合实际药液综合评估。

本系列脱气模块主要应用两大领域：一是半导体、LCD 制造产线，完成抗蚀剂、稀释剂、各类工艺化学药液的脱气与消泡，消除微气泡对制程的**影响；二是溶剂型喷墨系统，对溶剂墨水进行脱气，减少断墨、堵头故障，保障打印输出稳定。

PF‑F 系列分为普通型与低压损型两大类别，流量覆盖 1‑500mL/min，适配从小试到量产不同处理规模，耐压 0.2‑0.294MPa，*高使用温度 40℃，配置多种规格接头（支柱接头、可选法兰），方便集成嵌入现有设备管路。低压损型号针对低扬程泵组优化流路，在大流量工况下有效降低管路压力损耗，拓宽现场适配场景。

PF‑F 系列型号参数

普通型

PF‑3T‑SF：流量 1‑20mL/min，外形尺寸 29×58×86mm，耐压 0.2MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 4×2 管出，真空侧接口 4×2 管出。 

PF‑03F：流量 1‑100mL/min，外形尺寸 Φ102×180mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 1/4 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。

 PF‑05F：流量 1‑100mL/min，外形尺寸 Φ102×180mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 1/4 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。 

PF‑10F：流量 1‑200mL/min，外形尺寸 Φ102×260mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 1/4 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。 

PF‑13F：流量 1‑300mL/min，外形尺寸 Φ102×260mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 1/4 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。 

PF‑28F：流量 1‑500mL/min，外形尺寸 Φ102×440mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 3/8 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。

低压损型

PF‑13F (T)：流量 1‑500mL/min，外形尺寸 Φ102×260mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 1/4 超级柱，真空侧接口 Rc1/8。

PF‑26F (T)：流量 1‑500mL/min，外形尺寸 Φ140×450mm，耐压 0.294MPa，*高使用温度 40℃，液体侧接口 10mm 超级柱，真空侧接口 Rc1/4。

接头支持变更，可选支柱、法兰等形式，以实际产品为准；

表格流量仅为选型参考，根据介质种类、目标脱气指标，可超出该流量区间使用；

外形尺寸不含凸起、接头部分，详细外形、安装尺寸请查阅官方产品图纸。

PF‑F 系列模块化结构紧凑，支持管路在线安装，无需复杂改造产线，是半导体显示、工业喷墨、精细化工腐蚀液脱气的优选组件。