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  • 产品名称:带数据存储双轴精密数字水平仪

  • 产品型号:SELN-011B
  • 产品厂商:SEM坂本電機製作所
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简单介绍:
这种双轴数字水平仪(有线)是一种高精度且轻便的水平仪。与普通水平仪相比,它可以通过数字方式显示,便于现场调整。此外,显示屏和水平仪通过线连接,因此可以远距离测量。由于重量轻便,可以在晶圆处理部件等敏感部位进行测量。气泡会显示在显示器屏幕上,你可以像看气泡水平仪一样进行调整。由于它是数字显示的,操作员读取时不会有变化。使用SELN-011B,数据可以存储在主机上,稍后用SD卡检索,或者通过USB端口串行通信实时输出数据并显示到计算机上,便于存储数据。
详情介绍:
一、SELN-011B核心特点与优势
双轴高精度测量:X/Y 轴角度精度达 ±0.001°(17.5μm/m),零点重复精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精准捕捉微小倾斜,避免单轴反复调整误差,保障测量结果可靠。
双轴同步高效调平:支持 X/Y 轴同时检测与调整,大幅缩短作业工时,减少调整步骤,统一作业者操作标准,降低人为误差,提升批量设备调平的一致性。
狭窄空间适配强:传感器尺寸仅 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g,可轻松对垂直间距狭窄的零件进行水平观测,适配各类精密设备的复杂安装环境。
数据存储输出便捷:具备角度数据文件存储功能,支持 USB 实时外部输出角度数据,方便后续数据追溯、分析与报表生成,适配自动化产线的质量管控需求。
操作友好适配广:4.3 英寸彩色 LCD 触摸屏操作直观,可像看气泡水平仪般调整;能设置合格角度范围,初学者也可快速上手,支持 μm/m、°、°′″等多单位切换,工作温度范围 - 10℃至 + 50℃,防尘抗电磁干扰,适配工业复杂环境。
机身轻巧便携:主机尺寸约 96×35×145mm,重 280g,电源可选 DC6V 专用 AC 适配器或 4 节 AA 电池,使用灵活,便于现场移动作业。
、SELN-011B主要技术参数
测量核心:X/Y 轴线性角度测量范围均为 ±0.3°,测量分辨率 0.0002°,零点重复精度≤±0.001°,响应速度≤50ms,可快速捕捉倾斜变化。
数据处理与显示:搭载 32 位微处理器、14 位 A/D 转换器,A/D 分辨率 0.000025°,显示单位可切换 μm/m、角度(°、°′″),量程切换有 0.01/0.001/0.0001 三档,超量程(0.3° 及以上)会触发 OVER 显示。
尺寸与重量:传感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主机尺寸约 96×35×145mm,重量 280g,便于狭小空间安装与携带。
供电与环境:电源为 DC6V 专用 AC 适配器或 4 节 AA 电池,工作温度 - 10℃至 + 50℃,适配工业常见工作环境,具备防尘与抗电磁干扰能力。
数据功能:支持角度数据存储,可通过 USB 接口实时外部输出数据,满足数据记录与追溯需求。
、SELN-011B典型应用场景
半导体制造领域:用于光刻机、晶圆键合机、CMP 抛光平台等设备的水平校准,保证晶圆刻蚀、光刻等工序的芯片良率,数据存储功能便于设备维护与历史数据追溯。
精密加工设备:适配五轴加工中心、坐标测量机、光学平台等,校准基准面水平度,保障加工精度,数据输出可辅助设备状态分析与预防性维护。
自动化产线与机器人:用于机器人关节、机械臂安装基座的水平校准,适配狭小安装空间,配合数据输出功能,可实现产线设备水平状态的批量监控与质量管控。
特种设备安装与维护:如风力发电机组、卫星接收天线、大型精密仪器的安装调试,通过数据存储记录安装时的水平数据,便于后续维护对比,保障设备长期稳定运行。
精密仪器质检:适用于各类精密检测仪器的出厂水平校准与定期校验,数据存储可留存质检记录,满足行业质量认证要求。
、SELN-011B操作流程简述
准备工作:选择 DC6V 专用 AC 适配器或 4 节 AA 电池供电,将传感器通过有线连接主机,安装 SVS 底座并平稳放置在待测量基准面,确保接触面清洁无异物,避免影响测量精度。
设备初始化:开机后进入主界面,完成零点校准(将传感器置于标准水平台,长按零点校准键,待数值稳定后确认),切换显示单位与量程档位,设置合格角度范围参数,开启数据存储或输出功能。
水平测量与调整:观察触摸屏上 X/Y 轴的实时倾斜数据,同步调节待校准设备的支撑结构,直至数值处于合格范围内,期间实时查看数据变化,避免过度调整。

数据记录与收尾:测量达标后,通过 USB 接口导出数据用于追溯;测量结束后关机,取下传感器与主机,做好清洁收纳,长期不用时取出电池,避免设备损坏。

监控详情

规格

物品 目录
传感器部门 线性 - 角度 X方向±0.3度Y,±0.3度
测量分辨率 0.0002度
零点重复性 ±小于0.001度
响应速度 不到50毫秒
服务温度 -10°C~+50°C
身体部位 微控制器 32位
A/D部门 14位
测量范围 ±0.3度
A/D 分辨率 0.000025 deg
展示单元 0.0001 度
传球范围设定范围 0.0001 度
范围切换 0.01/ 0.001/ 0.0001
OVER 表示 0.3度或更高
特色 传感器连接数量 1 ch
展示部门 4.3英寸彩色LCD触摸面板
480×272个点
测量数据 保存到文件
(*多15个文件,120分/文件)
外部数据输出功能(SELN-011B→microSD)
实时输出USB
电源 专用交流适配器 DC6V/2A
4节AA电池(1.5伏)
尺寸 监视器 W96×D35×H145毫米
传感器(基于 SUS) φ50×H19 mm
电缆 2米
重量 监视器 392克
传感器 70克
配件 4节AA电池(1.5伏)
专用交流适配器 DC6V/2A
说明书
保修卡

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